长江存储申请半导体结构及其制造方法、存储系统,助力提升存储系统性能:制造系统

金融界2024年12月10日消息,国家知识信息显示,长江存储科技有限责任申请一项名为“半导体结构及其制造方法、存储系统”的,公开号CN 119095381 A,申请日期为2023年6月制造系统

摘要显示,本申请提供了一种半导体结构及其制造方法、存储系统制造系统 。该半导体结构包括:堆叠结构;顶部选择栅极结构,位于所述堆叠结构的表面,包括依次堆叠的半导体层和第一电介质层,且沿第一方向具有第一区域和第二区域,其中所述第一方向垂直于所述顶部选择栅极结构的堆叠方向;多个第一接触结构,分别沿所述堆叠方向穿过所述第一区域的所述第一电介质层并延伸至所述半导体层;以及导电结构,位于所述顶部选择栅极结构远离所述堆叠结构的一侧,且沿所述第一方向延伸,其中所述导电结构通过所述第一接触结构与所述半导体层连接。

来源:金融界

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