智能制造控制系统 :亚德诺半导体申请半导体制造控制系统,可防止半导体制造工具基于错误工艺信息运行

金融界2024年12月21日消息,国家知识信息显示,亚德诺半导体国际无限责任申请一项名为“半导体制造控制系统”的,公开号 CN 119153356 A,申请日期为 2024 年 6 月智能制造控制系统

摘要显示,本公开涉及半导体制造控制系统智能制造控制系统 。一种半导体制造控制系统和操作方法可以包括:利用通信地耦接至半导体制造工具的控制板来检测状态;基于状态变化或经过的预定时间,利用控制板从半导体制造工具收集工艺信息;利用控制板将工艺信息存储到服务器,控制板通过网络连接被通信地耦接至服务器;以及接合半导体制造工具的自动停止机构,以防止半导体制造工具基于错误的工艺信息而运行。

来源:金融界

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